资料等级		下载所需E币	8E	资料语言	繁体中文
格式	PPT	资料大小	1699K	资料内容类别	资料内容
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本文为关于虛擬晶圓廠之製造執行系統設計的论文，详细介绍了关于生产半导体的工艺的制造执行系统的结构的设计，适合企业相关人员学习和培训使用。本文为PPT格式。 主要内容： 1、緒論 2、晶圓之製造執行系統 3、製造執行系統資料庫設計 4、虛擬晶圓廠架構界面整合 5、四隧道之虛擬晶圓廠 6、結論與未來研究方向