资料等级		下载所需E币	8E	资料语言	简体中文
格式	RAR	资料大小	1699K	资料内容类别	应用实施
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本资料为半导体厂之制造执行系统设计，对半导体厂的制造执行系统进行了全面设计，内容丰富，可供感兴趣的专业人士下载学习和研究使用。 主要内容： 半导体生产流程示意图 制造执行系统(MES)架构 制造执行系统信息之汇整 以生产隧道为基础之现代化半导体厂布局 半导体生产流程定义 步骤执行之标准流程 传统半导体制造流程 1、MES数据库：E/R图分析 2、MES过帐服务器(Transaction Server) 3、支持半导体厂之全自动化解决方案 4、Web–based MES人机界面 MES数据库数据模块 MES使用者界面功能图 MES网站服务器存取数据库 成果展示 ? 四隧道之虚拟晶圆厂 ? 系统架构及硬件配置 ? 展示目的 ? 展示流程 未来方向